1、在剛開始高頻感應加熱機加熱時，工件內部組織晶格慢慢收縮，在交錯處會出現析出碳，在片狀的馬氏體中，碳原子會出現一團一團的，體積也會縮小。
2、進一步加熱時，殘余的奧氏體會被分解出貝氏體、鐵素體和碳化物。在晶格的中間會有碳化物的析出。溫度較高時，貝氏體組織里包含鐵素體和滲碳體，較低溫度時，貝氏體組織里包含鐵素體和碳化物。所以在這個階段，殘留奧氏體的轉變主要決定因素在于溫度和時間。在轉變中，還會伴有晶格變大，或者其他尺寸發生變化。
3、這個時候溫度達到了230℃，鐵素體和滲碳體會出現沉淀。內部組織晶格會出現收縮變小。對于碳含量低的工件，收縮量可以達到很高。
4、一個階段，需要回火的溫度是350℃。滲碳體顆粒變成球化狀，間接導致滲碳體和鐵素體晶粒變大。在回火的過程中，淬火狀態下的馬氏體和回火狀態下的馬氏體之間鐵原子體積發生相應的變化，
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